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超臨界二氧化碳清洗系統

描述:SFE-1型超臨界二氧化碳清洗系統

超臨界二氧化碳無損傷清洗設備。應用此設備對硅片進行清洗的顆粒明顯減少,且平均粒徑小于傳統清洗的粒徑。相對用等離子法清洗,該方法不會對硅片造成損傷,同時可減少工藝步驟,節省時間,提高工作效率。
更新時間:2021-04-07
產品型號:SFE-1型
所在城市:南通市
廠商性質:生產廠家
訪問量:79


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